Кремний – Материал Наноэлектроники
Герасименко Н.Н., Пархоменко Ю.Н.
Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях.
Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур.
Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур.
Categories:
Year:
2007
Publisher:
Техносфера
Language:
russian
Pages:
357
ISBN 10:
5948361012
ISBN 13:
9785948361017
Series:
Мир материалов и технологий
File:
DJVU, 6.46 MB
IPFS:
,
russian, 2007